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（一) 潔凈室的定義　　

潔凈室是指空氣潔凈度達到規(guī)定級別的可供人活動的空間。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。是集建筑裝飾（與大氣相對隔斷的密閉裝修）、凈化空調(diào)、純水、純氣、動力電、照明電、工藝管道等多種專業(yè)技術(shù)于一體的產(chǎn)物，潔凈室（或潔凈廠房）。

(二) 潔凈室的分類實現(xiàn)層流的低風(fēng)速值

2.1按用途分類(可分為兩大類)　

①工業(yè)潔凈室-以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。　

②生物潔凈室：以控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：　

A.一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保持正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。

B.生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。　　　

2.2按氣流分類(按氣流可分為四類)　　

①.單向流潔凈室（層流、活塞流）　　

②.亂流凈室　　

③.輻射流（斜流）潔凈室　　

④.復(fù)合式潔凈室（亂流、層流同在）　

(三) 單向流(層流)潔凈室(又稱垂直流，平行流)　　

房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

(四) 亂流潔凈室的原理和特性　　

1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度是不平行流動，伴有回流或渦流的潔凈室。　　

2、原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，把室內(nèi)污染逐漸排出，來實殃潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計在千級以上至30萬級凈化級別）。

3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義無反顧的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。

4、優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

5、缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。　　

(五) 復(fù)合式潔凈室

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

①潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：彈性擴充容易；維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

②潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

③并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。另外還有潔凈工作臺和潔凈工作棚等。　

(六)潔凈室的新風(fēng)要求　　

按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定，亂流潔凈室新風(fēng)量應(yīng)不小于總風(fēng)量的10%-30%；單向流潔凈室，新風(fēng)量應(yīng)不小于總風(fēng)量的2%-4%，當然也可以根據(jù)潔凈室的具體功能而定。